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洁净室的规划 一般性的规划重点

发表时间:2019-07-07 20:39

   洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范围极广,需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划,尽管不少洁净室规划,多需要就于既有的建筑物,然而,为避免失误应尽可能事先确认下列事项:
1.   洁净度等级。              2.   室压之平衡措施。
3.   温湿度要求。              4.   机器设备之必要性。
5.   确定生产流程。            6.   局部排气之必要性。
7.   日后扩充弹性。            8.   足够维护保养空间。
9.   空调送风方式。            10. 员工休息区之安排。
11. 设施与动力之配置。        12. 室内净高与楼板载重。
13. 设备空间与管道间。        14. 门窗宜少,气密性要佳。
15. 静电、振动及噪音。        16. 生产线与活动线少交叉。
17. 公害、污染与防灾。        18. 安装及运转成本之衡量。

   

    洁净室的动线规划
    所谓[动线],是指人员、原料之入室路线,与人员与成品的出室路线。规划时,要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。

要点:
1. 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2. 制造装置之出入,需不对作业产生大影响。
3. 超洁净室四周,宜设缓冲区(即较差洁净区)。

工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表

   洁净度产业别        洁净度(≥0.5μm,个/ft3)
        1         10         100         1000         10000         100000

LSI制造工程

LSI组立检查工程,(矽)单结晶,照像光罩photo mask,光阻涂膜photoresist,一般液晶(tn,stn),显示用液晶(tft,mim),投影用液晶(tft),混合(hybrid)IC,印刷基板材料,印刷配线板,电晶体、二极体

精密电子部品

磁头,磁碟,电脑、磁碟装置组立,录影带、光碟,照像底,光织,精密轴承,光学镜片,半导体制造装置,洁净管及阀类,LSI制造用化学药品,精密测定机制造,清洗无压衣,印刷、制版   

                                                            
生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表

  洁净度产业别        洁净度(≥0.5μm,个/ft3)
        1         10         100         1000         10000

医药品

抗生物质,注射药,血清,药剂包装过程,医疗用器具                                             
病院

无菌手术室,手术室,无菌病室,调剂室                                                      
食品

牛乳·乳制品,食肉·食肉加工,炼乳制品,清酒·酒类,糕饼·豆腐,制果·面包

动物实验

饲养区,隔离区                                                      

其他

磨茹·菌类培养,观叶植物培养,化妆品   


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